特許
J-GLOBAL ID：200903022768614066
付着物の洗浄方法及びその装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-164181
公開番号（公開出願番号）：特開平6-343938
出願日： 1993年06月08日
公開日（公表日）： 1994年12月20日
要約：
【要約】【目的】 洗浄対象物が凹凸のある形状であっても、その表面に付着した付着物を効果的に取除く。【構成】 洗浄対象物2が収納された洗浄部3に紫外線ランプ5を配設し、オゾンを含む洗浄用ガスをオゾナイザ20から洗浄部3に供給し、紫外線ランプ5から発せられる紫外線を光ファイバ12により洗浄対象物2の裏面15及び底面16などの所要表面に照射することにより、洗浄対象物2に付着した付着物を取除く。
請求項（抜粋）：
洗浄対象物が存在する洗浄部に紫外線ランプを配設し、オゾンを含む洗浄用ガスの下で、前記紫外線ランプから発せられる紫外線を光ファイバにより前記洗浄対象物の所要表面に照射することにより、この洗浄対象物に付着した付着物を取除くことを特徴とする付着物の洗浄方法。
IPC (3件)：
B08B 7/00
, B01J 19/12
, H01L 21/304 341
