特許

J-GLOBAL ID：200903022772676351

光硬化性レジスト樹脂組成物及びガラス基板の製造方法

発明者： 岡 毅 ,  池田 武史
出願人/特許権者： 日本ペイント株式会社
代理人 (2件)： 目次 誠 ,  宮▲崎▼主税
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-402437
公開番号（公開出願番号）：特開2005-164877
出願日： 2003年12月02日
公開日（公表日）： 2005年06月23日
要約：

【課題】 ガラス基板からの剥がれが生じにくく、精度の高いエッチング加工を施すことができる光硬化性レジスト樹脂組成物を得る。 【解決手段】アルカリ溶液に現像可能な光硬化性レジスト樹脂組成物であって、エチレン性不飽和二重結合を側鎖に有するアクリル樹脂と、ポリシランと、光増感剤と、必要に応じてエチレン性不飽和二重結合を有する(メタ)アクリルモノマー及び/またはオリゴマー、並びにノボラック型エポキシ樹脂及びフッ素含有架橋樹脂粒子をさらに含有することを特徴としている。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

アルカリ溶液に現像可能な光硬化性レジスト樹脂組成物であって、エチレン性不飽和二重結合を側鎖に有するアクリル樹脂と、ポリシランと、光増感剤とを含有することを特徴とする光硬化性レジスト樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F7/038 ,  G03F7/004 ,  G03F7/075 ,  G03F7/40

FI (4件)：

G03F7/038 501 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/075 521 ,  G03F7/40 521

Fターム (22件)：

2H025AB17 ,  2H025AB20 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC32 ,  2H025BC42 ,  2H025BC53 ,  2H025CA01 ,  2H025CB32 ,  2H025CC08 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H025FA40 ,  2H096AA27 ,  2H096AA30 ,  2H096BA05 ,  2H096BA20 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08 ,  2H096HA17 ,  2H096JA04

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特開昭50-17827号公報
  
• 特開昭61-243869号公報