特許

J-GLOBAL ID：200903022776206309

クリーンルーム及びその床材

発明者： 重信 貴志
出願人/特許権者： ソニー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-229188
公開番号（公開出願番号）：特開平8-093198
出願日： 1994年09月26日
公開日（公表日）： 1996年04月09日
要約：

【要約】【目的】 クリーンルーム内において、設備設置側に流れる空気流の気圧を高くして、作業者が製造設備の近傍に立って作業をしている場合でも、人体ダストを含むダウンフロー式の空気流を設備設置側から通路側床へ向けて流し出すことを目的とする。【構成】 この発明のクリーンルーム20は、ダストを嫌う被加工物の製造が行われ、気流がダウンフロー式で流されており、多数の開口が形成された床3が持ち上げられ、そしてその床が少なくとも前記被加工物を製造するための製造設備が設置される設備設置側床3Bと通路となる通路側床3Aとに区画さたクリーンルーム20において、前記設備設置側床3Bの開口面積を前記通路側床3Aの開口面積よりも小さくして構成している。

請求項（抜粋）：

ダストを嫌う被加工物の製造が行われ、気流がダウンフロー式で流されており、多数の開口が形成された床が持ち上げられ、そしてその床が少なくとも前記被加工物を製造するための製造設備が設置される設備設置側床と通路となる通路側床とに区画さたクリーンルームにおいて、前記設備設置側床の開口面積を前記通路側床の開口面積よりも小としたことを特徴とするクリーンルーム。

IPC (3件)：

E04F 15/18 ,  E04F 15/024 ,  F24F 7/06