特許
J-GLOBAL ID：200903022781515638
光学ヘッドの調整方法及びその調整装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
東島 隆治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-283708
公開番号（公開出願番号）：特開2002-092924
出願日： 2000年09月19日
公開日（公表日）： 2002年03月29日
要約：
【要約】【課題】 光ヘッドの対物レンズからの出射光が複数の場合に、干渉縞を解析し収差を検出することができる光ヘッドの調整方法及び調整装置を提供する.【解決手段】 光ヘッドから出射した複数の光を回折して、複数組の異なる次数の回折光のシェアリング干渉光を出射する回折格子2、回折格子2を移動させる機構33、前記複数組の回折光のうち主となる1つの組の回折光のみを通過させ,他の組の回折光を遮断するピンホールアパーチャ23、シェアリング干渉光を受像する受像体5、受像体5で受像したシェアリング干渉光の干渉像において複数の測定点で光強度変化の位相を測定し、その測定結果に基づいて集光レンズ28の特性を求める特性検出器14、及び特性検出器14の検出結果の基づいて光ヘッド1の光学系を調整する調整機構を有する。
請求項（抜粋）：
光ヘッドの集光レンズから出射された複数の光を回折し、異なる次数の2つの回折光を干渉させてシェアリング干渉像を得る工程、前記集光レンズから出射された複数の光のうち主となる光のみを通過させ、他の光を遮断する工程、前記主となる光の回折光の位相を変化させる工程、前記シェアリング干渉像において、特定線分上の複数の測定点で光強度変化の位相を検出する工程、前記測点位置をX,前記位相をφとしたとき,前記位相φを測定位置Xの関数として近似し、この関数の係数の値で前記集光レンズの光学特性を評価する工程、前記集光レンズの光学特性評価に基づいて,前記光ヘッドの発光素子の位置ずれ量を検出する工程、及び検出した前記位置ずれ量に基づいて,前記光ヘッドの発光素子の位置を調整する工程を有することを特徴とする光ヘッドの調整方法.
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (5件)：
5D119AA36
, 5D119EB12
, 5D119EC13
, 5D119FA37
, 5D119PA02
