特許

J-GLOBAL ID：200903022783677376

結像特性の測定装置、露光装置及びそれらの方法

発明者： 俵山 和雄 ,  佐藤 隆 ,  東木 達彦 ,  浅沼 慶太
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-140064
公開番号（公開出願番号）：特開平10-335207
出願日： 1997年05月29日
公開日（公表日）： 1998年12月18日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、投影光学系の結像特性を簡易かつ高精度に測定することができる。【解決手段】 光源1からの照明光を照明光学系3を介してマスク4に照射するとともに、マスクのパターンの像を投影光学系6により結像する光学系の結像特性の測定装置において、マスク4には、微小の開口11が複数設けられており、微小の開口に対応し、かつ投影光学系により結像される像の光強度を測定する光強度測定手段32を備えた結像特性の測定装置。

請求項（抜粋）：

光源からの照明光を照明光学系を介してマスクに照射するとともに、前記マスクのパターンの像を投影光学系により結像する光学系の結像特性の測定装置において、前記マスクには、微小の開口が複数設けられており、前記微小の開口に対応し、かつ前記投影光学系により結像される像の光強度を測定する光強度測定手段を備えたことを特徴とする結像特性の測定装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 7/207

FI (3件)：

H01L 21/30 515 D ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 7/207 H

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開昭59-094032