特許
J-GLOBAL ID：200903022789985170
インクジェットヘッド
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-283175
公開番号（公開出願番号）：特開平6-126956
出願日： 1992年10月21日
公開日（公表日）： 1994年05月10日
要約：
【要約】【構成】 マイクロマシニング技術により加工したSi基板及び/またはガラス基板を構成部材とし、振動板を変形させるためのギャップ部を金属または半導体の薄膜で形成し、該構成部材間を陽極接合法により接合する。または、ギャップ部をSiと共晶を形成する物質で形成する。【効果】 ギャップ部の寸法精度が高いことにより、印字品質が優れたインクジェットヘッドを提供する。
請求項（抜粋）：
インクを吐出するための単一または複数のノズルと、該ノズルのそれぞれに対応する圧力室と、該圧力室の少なくとも一方の壁を構成する振動板と、該振動板に変形を生じさせる駆動手段と、該圧力室にインクを供給する共通のインク室とを備え、前記駆動手段が前記振動板を静電気力により変形させる電極からなるインクジェットヘッドにおいて、前記振動板が形成される第1の基板と、前記電極が形成される第2の基板が、金属または半導体の薄膜層を介して接合されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
IPC (2件)：
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