特許

J-GLOBAL ID：200903022799493976

銅および銅合金のエッチング液

発明者： 中川 登志子
出願人/特許権者： メック株式会社
代理人 (1件)： 萩野 平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-210732
公開番号（公開出願番号）：特開平8-060386
出願日： 1994年08月12日
公開日（公表日）： 1996年03月05日
要約：

【要約】【目的】 銅のエッチングスピードが速く、エッチング後の銅表面が酸化されにくい過硫酸塩系エッチング液を提供する。【構成】 過硫酸塩を含む水溶液からなるエッチング液に、イミダゾール、イミダゾール誘導体、ピリジン誘導体、トリアジンおよびトリアジン誘導体よりなる群れから選ばれた少なくとも1種を含有させた。

請求項（抜粋）：

過硫酸塩を含む水溶液からなるエッチング液であって、イミダゾール、イミダゾール誘導体、ピリジン誘導体、トリアジンおよびトリアジン誘導体よりなる群れから選ばれた少なくとも1種を含有することを特徴とする銅および銅合金のエッチング液。