光学素子、光学装置、及び半導体デバイスの製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：細江利昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-149908
公開番号（公開出願番号）：特開2005-332972
出願日： 2004年05月20日
公開日（公表日）： 2005年12月02日
要約：

【課題】表面に付着した炭素や有機化合物のコンタミネーションを抑制したり除去することが可能な光学素子を提供する。【解決手段】反射鏡1は、前述のような多層膜反射鏡であり、極短紫外線を高い反射率で反射するようになっている。この反射鏡1はホルダ2中に保持されている。ホルダ2の上面は開放されており、その側面に設けられたガス導入口3から反応性ガスを噴出できるようになっている。反射鏡1の表面に付着した有機化合物を除去しようとするときは、このガス導入口3より、酸素を導入する。そして、この状態で、反射鏡1の表面に、洗浄光であるArFレーザ光を照射する。すると、酸素とArFレーザ光との相互作用により有機化合物は分解され、反射鏡1が用いられている光学装置の排気装置により装置外に排気される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

極短紫外線を用いた光学装置に用いられる反射型の光学素子であって、密閉可能又は概略密閉可能な容器に収納されており、前記容器は、露光を行う際には、少なくとも露光用極短紫外線が通過する部分が開放され、前記光学素子の表面を光洗浄する際には、密閉又は概略密閉され、かつ、密閉又は概略密閉された状態で、光洗浄を行うための洗浄光を透過可能な窓が設けられており、かつ、前記容器にはガス導入機構が設けられていることを特徴とする光学素子。

IPC (2件)：

H01L21/027 , G03F7/20

FI (2件)：

H01L21/30 531A , G03F7/20 503

Fターム (7件)：

2H097BA04 , 2H097CA15 , 2H097LA10 , 5F046GA07 , 5F046GA14 , 5F046GA20 , 5F046GB01

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