特許

J-GLOBAL ID：200903022803692989

電子線またはX線用レジスト組成物

発明者： 阿出川 豊
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 小栗 昌平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-094752
公開番号（公開出願番号）：特開2001-281864
出願日： 2000年03月30日
公開日（公表日）： 2001年10月10日
要約：

【要約】【課題】 感度の低下を引き起こすことなく、高解像力を有し、矩形状の優れたパターンプロファイルを与えることのできる電子線またはX線用ポジ型及びネガ型レジスト組成物を提供する。また、塗布性(面内均一性)に優れた電子線またはX線用ポジ型及びネガ型レジスト組成物を提供する。【解決手段】 (a)電子線またはX線の照射により酸を発生する化合物、(b)導電性微粒子または導電性有機高分子からなる群から選択される少なくとも一種、を含有する電子線またはX線用レジスト組成物。

請求項（抜粋）：

(a)電子線またはX線の照射により酸を発生する化合物、(b)導電性微粒子または導電性有機高分子からなる群から選択される少なくとも一種、を含有することを特徴とする電子線またはX線用レジスト組成物。

IPC (14件)：

G03F 7/039 601 ,  C08F 2/54 ,  C08F 8/12 ,  C08F 12/22 ,  C08F 34/02 ,  C08F257/02 ,  C08F269/00 ,  C08K 5/00 ,  C08L101/12 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/004 504 ,  G03F 7/038 601 ,  H01L 21/027

FI (14件)：

G03F 7/039 601 ,  C08F 2/54 ,  C08F 8/12 ,  C08F 12/22 ,  C08F 34/02 ,  C08F257/02 ,  C08F269/00 ,  C08K 5/00 ,  C08L101/12 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 A ,  G03F 7/004 504 ,  G03F 7/038 601 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (118件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BG00 ,  2H025CB52 ,  2H025CC03 ,  2H025CC04 ,  2H025CC09 ,  2H025CC10 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  4J002AA001 ,  4J002BC022 ,  4J002BC101 ,  4J002BC122 ,  4J002BG052 ,  4J002BQ001 ,  4J002CC042 ,  4J002CE001 ,  4J002CH023 ,  4J002EA028 ,  4J002EA048 ,  4J002EB106 ,  4J002EB108 ,  4J002ED019 ,  4J002ED057 ,  4J002EE018 ,  4J002EE037 ,  4J002EH127 ,  4J002EJ019 ,  4J002EJ049 ,  4J002EL028 ,  4J002EL058 ,  4J002EL087 ,  4J002EL108 ,  4J002EU028 ,  4J002EU186 ,  4J002EU216 ,  4J002EV047 ,  4J002EV207 ,  4J002EV216 ,  4J002EV217 ,  4J002EV246 ,  4J002EV296 ,  4J002EV308 ,  4J002FD149 ,  4J002FD206 ,  4J002FD207 ,  4J002FD208 ,  4J002FD209 ,  4J002FD313 ,  4J002FD319 ,  4J002GP03 ,  4J011PA22 ,  4J011PA26 ,  4J011PA27 ,  4J011PA45 ,  4J011PA74 ,  4J011PA83 ,  4J011PB27 ,  4J011PC02 ,  4J011QA01 ,  4J011QA09 ,  4J011UA03 ,  4J011UA04 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01 ,  4J026AA60 ,  4J026AB40 ,  4J026AB46 ,  4J026AC36 ,  4J026BA04 ,  4J026BA05 ,  4J026BA06 ,  4J026BA07 ,  4J026BA08 ,  4J026BA15 ,  4J026BA50 ,  4J026GA07 ,  4J100AB02R ,  4J100AB07P ,  4J100AB07Q ,  4J100AL03Q ,  4J100AL03R ,  4J100AL08P ,  4J100AL34Q ,  4J100AM07R ,  4J100AM49Q ,  4J100AM49R ,  4J100AQ01P ,  4J100BA02Q ,  4J100BA02R ,  4J100BA03H ,  4J100BA03P ,  4J100BA03R ,  4J100BA04Q ,  4J100BA04R ,  4J100BA06Q ,  4J100BA10Q ,  4J100BA20P ,  4J100BA20Q ,  4J100BA22Q ,  4J100BC09Q ,  4J100BC43Q ,  4J100BC43R ,  4J100BC53Q ,  4J100CA03 ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100HA08 ,  4J100JA38