特許
J-GLOBAL ID：200903022813754346
マグネットレジスティブ素子の感磁性測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
赤尾 直人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-128914
公開番号（公開出願番号）：特開平9-283578
出願日： 1996年04月16日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 被測定磁場の変化が入力に誘導電圧を送り込んで測定誤差を生じさせることを回避したマグネトレジスティブ素子ウエハの感磁特性測定装置を提供する。【解決手段】XYZステージ2上にマグネトレジスティブ素子のウエ1を載置し、一対の測定用磁場発生コイル3が発生させる磁場がプローブ4とこれに接続されて測定装置の入力回路に至るリード線とで形成するループ状平面と平行になるように構成して、測定用磁場の変化が発生させる誘導電圧が測定装置の入力に混入しないようにする。
請求項（抜粋）：
XYZステージ上にマグネットレジスティブ素子のウエハを載置し、一対の磁場発生コイルによって発生する磁界によって、マグネットレジスティブ素子ウエハの感磁特性測定装置において、当該一対の磁場発生コイルの磁極間の方向と直交する方向の平面における、一対のプローブの投影線が交差した状態となるようにプローブを配置したことによるマグネットレジスティブ素子ウエハの感磁特性測定装置。
IPC (4件)：
H01L 21/66
, G01R 33/09
, G01R 35/00
, H01L 43/08
H01L 21/66 H
, G01R 35/00 M
, H01L 43/08 Z
, G01R 33/06 R
