特許
J-GLOBAL ID:200903022819520622

p型▲II▼-▲VI▼族半導体用の勾配付組成オーミックコンタクト

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 石田 敬 (外2名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-518047
公開番号(公開出願番号):特表平8-506694
出願日: 1994年01月18日
公開日(公表日): 1996年07月16日
要約:
【要約】基板、p型II-VI族半導体のデバイス層、および電極と、電極とデバイス層間のオーミックコンタクト層とを備えたII-VI族レーザダイオード。オーミックコンタクト層は、ZnTeを含有した組成勾配付化合物半導体を含む。デバイス層からオーミックコンタクト層までの距離の増加に伴って、上記化合物半導体中のZnTeの相対含有量が増加する。第1の実施態様においては、オーミックコンタクト層は、デバイス層の化合物半導体とZnTeとを含有する組成勾配付半導体合金を含む。第2の実施態様においては、オーミックコンタクト層は、デバイス層の化合物半導体の層間に挟まれたZnTe層を含む。第2の実施態様においては、デバイス層からオーミックコンタクト層までの距離の増加に伴って、ZnTeの層の厚さが増加し、またはデバイス層の化合物半導体の層の厚さが減少する。
請求項(抜粋):
基板、 p型II-VI族化合物半導体デバイス層、 電極、および p型オーミックコンタクト層であって、上記デバイス層と電極との間にあって、第1化合物半導体とZnTe含有第2化合物半導体を含み、上記デバイス層からこのp型オーミックコンタクト層までの距離の増加に伴ってこのp型オーミックコンタクト層中の上記ZnTeの相対平均含有量が増加しているp型オーミックコンタクト層、を含む半導体装置。
IPC (4件):
H01S 3/18 ,  H01L 21/28 301 ,  H01L 29/43 ,  H01L 33/00

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