特許

J-GLOBAL ID：200903022825161642

双極型静電チャック

発明者： 石井 守 ,  石田 弘徳 ,  梅津 基宏 ,  小倉 知之 ,  塩貝 達也
出願人/特許権者： 太平洋セメント株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-341395
公開番号（公開出願番号）：特開2002-151582
出願日： 2000年11月09日
公開日（公表日）： 2002年05月24日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 絶縁耐性を大きく向上させることのできる双極型静電チャックを提供すること。【解決手段】 絶縁物で同面積に2分割された金属板を台座にすると同時に2つの電極とし、その電極表面に溶射で絶縁膜を形成してなる。すなわち、アルミニウムなどの金属板を左右同面積に2分割し、その分割部の隙間に絶縁物を接着剤またはロウ材により接着または接合する。あるいは、金属板を同心円状に同面積に2分割し、その分割部の隙間に絶縁物を嵌め込み、それを焼き嵌めする。ここで、絶縁物の厚さは、0.2〜2mmである。電極は表面粗さがRmaxで5μm以上であり、また、金属にセラミックス粉末を複合させた金属-セラミックス複合材料としてもよい。

請求項（抜粋）：

絶縁物で同面積に2分割された金属板を台座にすると同時に2つの電極とし、その電極表面に溶射で絶縁膜を形成してなることを特徴とする双極型静電チャック。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065 ,  H02N 13/00

FI (4件)：

H01L 21/68 R ,  H01L 21/205 ,  H02N 13/00 D ,  H01L 21/302 B

Fターム (6件)：

5F004BB22 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA10 ,  5F031HA18 ,  5F045EM05