特許
J-GLOBAL ID：200903022826641516
2層フレキシブル基板の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
押田 良久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-336512
公開番号（公開出願番号）：特開平8-181433
出願日： 1994年12月22日
公開日（公表日）： 1996年07月12日
要約：
【要約】【目的】 5μm前後の極めて薄い厚さの銅被膜を形成した場合においてもピンホールが生成しないような2層フレキシブル基板の製造方法を提供することを目的とするものである。【構成】 絶縁体フィルムの片面または両面に接着剤を介さずに直接にクロムまたはクロム酸化物層を下地層として形成し、さらに該下地金属層上に薄膜の銅層を形成した基板の該クロム層またはクロム酸化物層または銅層上に更に銅の導体層を形成した後、サブトラクティブ法またはセミアディティブ法によって配線部を形成しフレキシブル配線板を製造する方法において、該下地層および薄膜の銅層を形成した後の基板を無機アルカリ溶液および/または有機アルカリ溶液で処理した後、該基板表面に無電解銅めっき被膜を0.01μm以上の厚さに形成し、さらに該無電解銅めっき被膜上に銅の導体層を形成することを特徴とする2層フレキシブル基板の製造方法。
請求項（抜粋）：
絶縁体フィルムの少なくとも片面に、接着剤を介さずに、直接クロムまたはクロム酸化物層を下地層として形成し、さらに該下地層上に薄膜の銅層を形成した基板の該クロム層またはクロム酸化物層または銅層上に更に銅の導体層を形成した後、サブトラクティブ法またはセミアディティブ法によって配線部を形成することによりフレキシブル配線板を製造する方法において、該下地層および薄膜の銅層を形成した後の基板を、無機アルカリ溶液または有機アルカリ溶液のうち少なくとも一方の溶液で処理した後、該基板表面に無電解銅めっき被膜を0.01μm以上の厚さに形成し、さらに該無電解銅めっき被膜上に銅の導体層を形成することを特徴とする2層フレキシブル基板の製造方法。
IPC (3件)：
H05K 3/38
, C23C 18/18
, H05K 1/03 670
