平坦度測定装置の精度補正方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西川惠清 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-087723
公開番号（公開出願番号）：特開平11-281348
出願日： 1998年03月31日
公開日（公表日）： 1999年10月15日
要約：

【要約】【課題】高精度な駆動テーブルを用いずに、安いコストで簡易的に実施可能な平坦度測定装置の精度補正方法を提供するにある。【解決手段】X方向位置決めテーブル1上のサンプル取付台7に平行平面基板を設置する。次にX方向位置決めテーブル1を移動させ、静止したY方向位置決めテーブル2に設けたZ方向変位センサ3により、平行平面基板8上の複数箇所でX方向位置決めテーブル1のZ方向移動量の変動量を測定する。その後Y方向位置決めテーブル2を移動させ、静止したX方向位置決めテーブル1の平行平面基板上の複数箇所のZ方向移動量の変動量をZ方向変位センサ3により測定する。最後にこれらの複数点におけるZ方向移動量の変動量データの値を用いて、X方向及びY方向の位置決めテーブル1,2のZ方向移動量の補正値を、位置決めテーブルの位置の関数として、夫々連続的な高次多項式により算出するである。

請求項（抜粋）：

可動式のX方向位置決めテーブルと、このX方向位置決めテーブルと垂直な方向に設置されたY方向位置決めテーブルと、一方の位置決めテーブルに設けたZ方向変位センサと、両位置決めテーブルのコントローラと、装置全体の制御手段を有するコンピュータとにより構成される平坦度測定装置において、まずX方向位置決めテーブルに平行平面基板を設置し、X方向位置決めテーブルを移動させ、静止したY方向位置決めテーブルに設けたZ方向変位センサにより、平行平面基板上の複数箇所でZ方向の上下動を測定し、続いてY方向位置決めテーブルを移動させ、Z方向変位センサにより、静止したX方向位置決めテーブルの平行平面基板上の複数箇所のZ方向の上下動を測定し、これらの複数点における上下動の測定値を用いて、X方向及びY方向の位置決めテーブルの上下動の補正値をそれぞれ独立に連続的な高次多項式により算出することを特徴とする平坦度測定装置の平坦度精度補正方法。

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