特許

J-GLOBAL ID：200903022838149919

形状測定装置

発明者： 山田 智明
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (2件)： 稲本 義雄 ,  西川 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-237574
公開番号（公開出願番号）：特開2009-068986
出願日： 2007年09月13日
公開日（公表日）： 2009年04月02日
要約：

【課題】被検物の反射率の小さい部分についても精度良く計測することができるようにする。【解決手段】ステップS11で、ユーザによって指定された測定部分であると判定された場合には、ステップS12において、形状測定装置は、ステップS9で撮像された画像の輝度から、ユーザにより指定された測定精度を満足するための積算枚数を演算により決定する。ステップS13において、形状測定装置は、決定された枚数分の被検物の撮像を行い、ステップS14において、必要な枚数だけ撮像された画像を積算し、その結果得られる積算画像を求める。本発明は、例えば、被検物の形状を測定する形状測定装置に適用できる。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

所定の照明を被検物に照射して得られる前記被検物の画像に基づいて、前記被検物の形状を測定する形状測定装置において、 最初に撮像された1枚の前記画像に基づいて、所定の測定精度を満足するために必要な前記画像の積算枚数を決定する決定手段と、 前記決定手段により決定された積算枚数の前記画像を撮像する撮像手段と、 前記撮像手段により撮像された積算枚数の前記画像を積算する積算手段と を備えることを特徴とする形状測定装置。

IPC (2件)：

G01B 11/24 ,  G06T 1/00

FI (2件)：

G01B11/24 K ,  G06T1/00 315

Fターム (40件)：

2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065DD04 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF09 ,  2F065GG06 ,  2F065HH05 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL08 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ27 ,  2F065RR07 ,  2F065SS03 ,  2F065UU05 ,  5B057AA02 ,  5B057BA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB06 ,  5B057CB13 ,  5B057CB16 ,  5B057CD14 ,  5B057CE02 ,  5B057CH18 ,  5B057DA08 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09 ,  5B057DC09 ,  5B057DC22

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特許3575693号公報