ノズル装置及びこれを備えた基板処理装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：村上智司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-377100
公開番号（公開出願番号）：特開2003-170086
出願日： 2001年12月11日
公開日（公表日）： 2003年06月17日
要約：

【要約】【課題】少量の処理液で、しかも均一な膜厚の処理液膜を基板上に形成することができるノズル装置及びこれを備えた基板処理装置を提供する。【解決手段】ノズル装置10は、下面に形成された複数の吐出口18と、供給された処理液を滞留せしめる液溜め室22と、一方が各吐出口18に連通し、他方が液溜め室22に連通して、液溜め室22に滞留せしめられた処理液を吐出口18に流通せしめて、吐出口18から吐出せしめる液吐出流路23,17とを備える。吐出口18は、ノズル装置10の長手方向に沿って複列に配列されるとともに、各列の吐出口18は、隣接する吐出口18列の各吐出口配置間に配置されて、各吐出口18が配列方向に千鳥状に配設される。

請求項（抜粋）：

長尺のノズル体を備え、該ノズル体から処理液を吐出して被処理物上に塗布するノズル装置であって、前記ノズル体が、その下面に形成された複数の吐出口と、供給された処理液を滞留せしめる液溜め室と、一方が前記各吐出口に連通し、他方が前記液溜め室に連通して、前記液溜め室に滞留せしめられた処理液を前記吐出口に流通せしめて、前記吐出口から吐出せしめる液吐出流路とを備えてなり、前記吐出口が、前記ノズル体の長手方向に沿って複列に配列されるとともに、各列の吐出口が、隣接する吐出口列の各吐出口配置間に配置されて、各吐出口が配列方向に千鳥状に配設されてなることを特徴とするノズル装置。

IPC (8件)：

B05B 13/04 , B05B 1/14 , B08B 3/02 , B65G 49/06 , H01L 21/027 , H01L 21/304 643 , H01L 21/304 , H01L 21/306

FI (12件)：

B05B 13/04 , B05B 1/14 Z , B08B 3/02 C , B65G 49/06 Z , H01L 21/304 643 A , H01L 21/304 643 B , H01L 21/304 643 C , H01L 21/30 564 Z , H01L 21/30 569 D , H01L 21/30 564 C , H01L 21/30 569 C , H01L 21/306 J

Fターム (38件)：

3B201AA02 , 3B201AA03 , 3B201AB14 , 3B201AB34 , 3B201AB47 , 3B201BB22 , 3B201BB33 , 3B201BB92 , 3B201BB93 , 4F033AA14 , 4F033BA03 , 4F033CA04 , 4F033DA05 , 4F033EA01 , 4F033GA11 , 4F033LA01 , 4F033LA12 , 4F033LA13 , 4F035CA01 , 4F035CA05 , 4F035CB04 , 4F035CB13 , 4F035CB22 , 4F035CB27 , 4F035CC01 , 4F035CD03 , 4F035CD12 , 4F035CD16 , 4F035CD19 , 5F043EE03 , 5F043EE07 , 5F043EE08 , 5F043EE15 , 5F046JA02 , 5F046JA16 , 5F046JA27 , 5F046LA11 , 5F046LA14

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