特許

J-GLOBAL ID：200903022850215625

検査間隔表示装置及びプログラム

発明者： 安田 美穂 ,  竹内 淳一 ,  斎藤 幸哉
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (4件)： 柳瀬 睦肇 ,  宇都宮 正明 ,  渡部 温 ,  原田 勝利
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-271447
公開番号（公開出願番号）：特開2008-091655
出願日： 2006年10月03日
公開日（公表日）： 2008年04月17日
要約：

【課題】検査コスト及び不良品の処理コストの和であるトータルコストが最小になる理論検査間隔と現状の検査間隔との差分を認識しやすい形式で表示する検査間隔表示装置を提供する。【解決手段】本発明に係る検査間隔表示装置は、前記複数の検査工程それぞれ毎に、実際の検査間隔を保持するデータ保持部5と、半導体装置の製造における複数の検査工程それぞれ毎に、検査コスト及び不良品の処理コストの和であるトータルコストを最小値にするための理論検査間隔を算出する演算部4と、データ保持部3から実際の検査間隔を読み出し、実際の検査間隔と理論検査間隔の差分である第1の差分を前記複数の検査工程それぞれ毎に算出し、前記複数の検査工程それぞれ毎に算出された複数の前記第1の差分を同時に表示するグラフを生成するグラフ生成部6と、前記グラフ生成部が生成したグラフを表示する表示部7とを具備する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

半導体装置の製造における複数の検査工程それぞれ毎に、検査コスト及び不良品の処理コストの和であるトータルコストを最小値にするための理論検査間隔を算出する理論検査間隔算出部と、 前記複数の検査工程それぞれ毎に、実際の検査間隔を保持する検査間隔保持部と、 前記検査間隔保持部から前記実際の検査間隔を読み出し、前記実際の検査間隔と前記理論検査間隔の差分である第1の差分を前記複数の検査工程それぞれ毎に算出し、前記複数の検査工程それぞれ毎に算出された複数の前記第1の差分を同時に表示するグラフを生成するグラフ生成部と、 前記グラフ生成部が生成したグラフを表示する表示部と、 を具備する検査間隔表示装置。

IPC (2件)：

H01L 21/66 ,  H01L 21/02

FI (3件)：

H01L21/66 Z ,  H01L21/66 J ,  H01L21/02 Z

Fターム (13件)：

2G051AA51 ,  2G051AB01 ,  2G051AB07 ,  2G051AC04 ,  2G051BB19 ,  2G051CA11 ,  2G051CB01 ,  4M106AA01 ,  4M106CA38 ,  4M106CA41 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ23

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 電子部品の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-080200   出願人：株式会社日立製作所, 日立電子エンジニアリング株式会社