特許

J-GLOBAL ID：200903022853702950

変形光源露光用ポジ型レジスト

発明者： 梶田 徹 ,  大田 利幸 ,  勇元 喜次 ,  三浦 孝夫
出願人/特許権者： 日本合成ゴム株式会社
代理人 (1件)： 福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-182934
公開番号（公開出願番号）：特開平6-051507
出願日： 1992年06月18日
公開日（公表日）： 1994年02月25日
要約：

【要約】【目的】 変形光源露光法により高感度でレジストパターンを形成することがでるポジ型レジストを提供する。【構成】 アルカリ可溶性ノボラック樹脂および感光成分として1,2-ナフトキノンジアジド-4-スルホン酸エステルを含有することを特徴とする変形光源露光用ポジ型レジスト。

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性ノボラック樹脂および感光成分として1,2-ナフトキノンジアジド-4-スルホン酸エステルを含有することを特徴とする変形光源露光用ポジ型レジスト。

IPC (3件)：

G03F 7/022 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-154058
  
• 特開平3-249654
  
• 特開平2-096755
  
• 特開平4-101148