特許
J-GLOBAL ID:200903022865027183
弾性表面波装置および弾性表面波装置の温度特性調整方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
上柳 雅誉
, 藤綱 英吉
, 須澤 修
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-284152
公開番号(公開出願番号):特開2004-274696
出願日: 2003年07月31日
公開日(公表日): 2004年09月30日
要約:
【課題】 複数の弾性表面波素子を同一基板上に並列関係に接続されて配置した弾性表面波装置を小型化するとともに、広い温度範囲において温度特性を良好にする。【解決手段】 オイラー角が(0°,113〜135°,±(40〜49°))で切り出された水晶板の主表面上に複数の弾性表面波素子が、各々の伝搬方向ψが互いに異なるように配置される。そして、前記オイラー角を(0°,θ,ψ)とした場合、各々の前記伝搬角度ψを0.3295θ+3.3318°±1.125°の範囲内に設定すれば、前記伝搬方向の差を小さくすることが可能になる。これにより、弾性表面波素子のなす角度が小さくなり、弾性表面波装置の小型化が達成される。【選択図】 図15
請求項(抜粋):
オイラー角(0°,113〜135°,±(40〜49°))で切り出された水晶板の主表面上に、Rayleigh波を励振するための少なくとも一対のIDT電極を配置してなる複数n個の弾性表面波素子M1〜Mnが、互いに並列関係に接続され、当該弾性表面波素子M1〜Mnから各々得られる弾性表面波の伝搬方向ψ1〜ψnの中で、少なくとも複数の前記伝搬方向が互いに異なるように配置されてなる弾性表面波装置であって、前記オイラー角を(0°,θ,ψ)とした場合、前記伝搬方向ψ1〜ψnが、
ψ1〜ψn=0.3295θ+3.3318°±1.125°
の範囲内であることを特徴とする弾性表面波装置。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (10件):
5J097AA21
, 5J097BB02
, 5J097CC04
, 5J097DD04
, 5J097DD07
, 5J097GG02
, 5J097GG05
, 5J097HA03
, 5J097KK06
, 5J097KK07
引用特許:
出願人引用 (2件)
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特開昭53-145595号公報
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特公昭63-18892号公報
審査官引用 (4件)
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特開昭59-151517
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特開昭57-073513
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特開昭58-039105
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