特許

J-GLOBAL ID：200903022865105745

欠陥検査装置

発明者： 山田 茂
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 日比谷 征彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-286172
公開番号（公開出願番号）：特開平10-111251
出願日： 1996年10月08日
公開日（公表日）： 1998年04月28日
要約：

【要約】【目的】 微細な凹凸と低コントラストな欠陥個所を見落とすことなく検出する。【構成】 検査を行う円筒状のワークWを回転ローラ2により回転し、伝送ライト1からスリット光を照射し、ワークWの表面で正反射又は散乱された光束をラインセンサカメラ3に取り込み、この画像信号をA/D変換器6においてデジタル信号に変換して画像メモリ7にセーブする。次に、画像メモリ7から画像データをシェーディング補正回路8にロードし、シェーディング補正のための演算を実行し、更にシェーディング補正された画像データを、ワークWの回転で生ずる軸振れなどによる低周波成分を除去するために、軸振れ補正回路9で膨張・収縮処理を行う。

請求項（抜粋）：

円筒物体の微細な表面状態を検出するための欠陥検査装置であって、前記円筒物体表面を長手方向にスリット状に照明する照明手段と、前記円筒物体表面の被照明領域を画像信号として光電変換する撮像手段と、前記画像信号をアナログ信号からデジタル信号に変換するA/D変換手段と、少なくとも1走査線のデジタル信号を記憶する画像データ記憶手段と、前記走査線に含まれるシェーディング信号レベルを除去するシェーディング補正手段と、前記走査線に含まれる軸振れ信号レベルを除去する軸振れ補正手段とを有することを特徴とする欠陥検査装置。