特許
J-GLOBAL ID：200903022869513783
半導体検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-339868
公開番号（公開出願番号）：特開2000-162505
出願日： 1998年11月30日
公開日（公表日）： 2000年06月16日
要約：
【要約】【課題】 半導体デバイスの試験と同時に発光観測を容易に行うことができる半導体検査装置を提供する。【解決手段】 半導体検査システムを、ウエハプローバ5及びテスタヘッド6を有する半導体試験装置Bと、顕微鏡装置1を有するエミッション顕微鏡装置Aとから構成し、顕微鏡装置1を、顕微鏡部11、カメラ12、及び下方に設置される転写レンズ10を有する構成として、顕微鏡装置駆動部2によって顕微鏡装置1を駆動して転写レンズ10をテスタヘッド6の開口部61から挿入して半導体基板Sに対面するように設定し、テスタヘッド6の外部に転写された転写像を顕微鏡部11及びカメラ12によって観測することによって、観測倍率の切り換えや、視野範囲の変更を容易に行うことができる半導体検査装置とすることができる。
請求項（抜粋）：
検査対象である半導体基板を載置する載置台と、前記半導体基板上に形成された半導体デバイスの構成に対応して構成されたプローバと、前記半導体基板上の前記半導体デバイスの所定の箇所に電気信号を与えて試験するテスタとを備える半導体試験装置と組み合わせて用いられ、前記半導体基板の試験に際して、前記半導体基板からの発光を観測して異常箇所を検出する半導体検査装置であって、前記半導体基板からの発光を観測する顕微鏡装置と、前記顕微鏡装置を駆動する顕微鏡装置駆動部とを備え、前記顕微鏡装置は、前記半導体基板に対面させた入射面から入射した前記半導体基板の観測像を、所定の結像面に転写像として転写させる転写レンズと、前記結像面に転写された前記転写像の所定部分を視野範囲として選択するための対物レンズを有する顕微鏡部と、前記顕微鏡部によって選択された前記視野範囲について撮像を行う撮像部と、を有することを特徴とする半導体検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B 21/00
, G01N 21/88 645 A
2G051AA51
, 2G051AA61
, 2G051AB20
, 2G051BA06
, 2G051BB17
, 2G051CA03
, 2G051CA04
, 2G051CA11
, 2G051CB01
, 2G051DA07
, 2G051DA08
, 2G051EA14
, 2G051FA10
, 2H052AB01
, 2H052AB05
, 2H052AC04
, 2H052AD05
, 2H052AD18
, 2H052AF02
, 2H052AF13
, 2H052AF14
