特許
J-GLOBAL ID：200903022873428324
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-088008
公開番号（公開出願番号）：特開平8-285863
出願日： 1995年04月13日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：
【要約】【目的】この発明は、制御系を安定させて応答性を速めると共に、走査中に探針が試料表面に当たって探針や試料の表面に損傷を与えないために、圧電体共振点付近の電流増加量を検出し、この増加量を圧電体にフィードバックして該圧電体に印加する電圧を調節し、圧電体の機械的な共振ピークを十分に抑圧する。【構成】プローブ変位検出部15からカンチレバー14の探針の変位を検出して、変位信号SzをZ変位サーボ制御部16へ出力する。このZ変位サーボ制御部16では、Z制御電圧Vzを印加して円筒型圧電体13を伸縮させる。円筒型圧電体13に流れている電流izを電流検出センサ19で検出し、微分回路20にて微分して電流増加量を算出する。そして、比較器22にて、該電流増加量を増幅回路21で増幅した補正電圧△VとZ変位サーボ制御部16からの印加電圧指令を比較して、円筒型圧電体13に実際に印加する電圧Vzを生成する。
請求項（抜粋）：
圧電体を用いた走査型プローブ顕微鏡に於いて、上記圧電体のZ方向の変位を検出するZ方向変位検出手段と、上記圧電体のZ方向の変位を制御すべく所定の印加電圧を与えるZ方向変位制御手段と、上記圧電体をZ方向に駆動するための駆動電流を検出する電流検出手段と、この電流検出手段によって検出された共振電流の変化率を算出して補正電圧を求める算出手段と、この算出手段で求められた補正電圧に基いて、上記Z方向変位制御手段から圧電体へ供給される印加電圧を調整する調整手段とを具備することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (5件)：
G01N 37/00
, G01B 7/34
, G01B 21/30
, G05D 3/00
, H01J 37/28
G01N 37/00 A
, G01B 7/34 Z
, G01B 21/30 Z
, G05D 3/00 G
, H01J 37/28 Z
