特許
J-GLOBAL ID:200903022877430030
加速管用高耐電圧絶縁物およびその製造法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
新実 健郎 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-352008
公開番号(公開出願番号):特開平6-176621
出願日: 1992年12月08日
公開日(公表日): 1994年06月24日
要約:
【要約】【目的】ポリエチレン等の疎水性を有するポリマーからなる成形体の接着性を向上させ、放電による二次電子発生を抑制すべく表面改質を行うことにより、成形体を加速管用絶縁物として利用する。【構成】酸素を含む低真空雰囲気中に、少なくとも陰極がクロムおよびアルミニウムおよびマグネシウムのいずれかからなる一対の放電電極を配置する。放電電極による放電の領域内に【化1】で表されるポリマーからなる成形体を配置する。グロー放電を行う。
請求項(抜粋):
【化1】で表されるポリマーからなり、親水性に改質せしめられて接着可能とされ、かつ表面に酸化クロムおよび酸化アルミニウムおよび酸化マグネシウムのいずれかの薄膜を有している加速管用高耐電圧絶縁物。
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