機能性堆積膜の連続的形成方法及びその装置

発明者： , , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長尾達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-023197
公開番号（公開出願番号）：特開平9-199430
出願日： 1996年01月17日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】異常な放電や帯状部材と堆積膜形成チャンバー部材等との接触を検出し、それらを解消することにより、帯状部材上に形成される大面積機能性堆積膜の収率を改善し、特性の均一化と向上を図るようにした方法およびその装置を提供する。【解決手段】帯状部材を長手方向に連続的に移動させながら、ガスゲートにより結ばれた複数の堆積膜形成チャンバーを通過させ、高周波電力により原料ガスを分解プラズマ化する放電炉にて、帯状部材上に機能性堆積膜を形成する装置において、堆積膜形成チャンバーの放電炉から外部に拡散もしくは漏洩する異常放電を、堆積膜形成チャンバーを構成する部材の一部に電圧を印加して電圧印加部分と接地電位との間を流れる電流により検知し、検知による信号に基づいて帯状部材の移動する軌道を調整することによって、異常放電を解消する。

請求項（抜粋）：

帯状部材を長手方向に連続的に移動させながら、ガスゲートにより結ばれた複数の堆積膜形成チャンバーを通過させ、該堆積膜形成チャンバー内の、該帯状部材とほかの導電性部材に囲まれ、高周波電力により原料ガスを分解プラズマ化する放電炉にて、該帯状部材上に機能性堆積膜を形成する機能性堆積膜の連続的形成方法において、前記堆積膜形成チャンバーの放電炉から外部に拡散もしくは漏洩する異常放電を、堆積膜形成チャンバーを構成する部材の一部に電圧を印加して該電圧印加部分(以下放電検出器)と接地電位との間を流れる電流により検知し、該検知による信号に基づいて帯状部材の移動する軌道を調整することによって、前記異常放電を解消するようにしたことを特徴とする機能性堆積膜の連続的形成方法。

IPC (7件)：

H01L 21/205 , C23C 16/50 , C23C 16/52 , C23C 16/54 , G05F 5/00 , H01L 21/285 , H01L 31/04

FI (7件)：

H01L 21/205 , C23C 16/50 , C23C 16/52 , C23C 16/54 , G05F 5/00 , H01L 21/285 C , H01L 31/04 T

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