特許
J-GLOBAL ID：200903022877854247
光学的検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-123778
公開番号（公開出願番号）：特開平6-331545
出願日： 1993年05月26日
公開日（公表日）： 1994年12月02日
要約：
【要約】【目的】 S/N比の高い光エコーを検出し得る光学的検査装置を提供する。【構成】 レーザー光源1と、レーザー光源1からの光を2光束に分割する光分割器2と、前記2光束の一方の光の光路長を変化させる光遅延手段4と、前記2光束を被検物体上に照射する照射手段8と、前記被検物体からの光を検出して出力する光検出器9とを有する光学的検査装置において、レーザー光源1は、前記『被検物体の光吸収帯内の波長の内、極大吸収係数を有する波長』より長波長側に中心波長を有する。
請求項（抜粋）：
レーザー光源と、前記レーザー光源からの光を2光束に分割する光分割器と、前記2光束の一方の光の光路長を変化させる光遅延手段と、前記2光束を被検物体上に照射する照射手段と、前記被検物体からの光を検出して出力する光検出器とを有する光学的検査装置において、前記レーザー光源は、前記『被検物体の光吸収帯内の波長の内、極大吸収係数を有する波長』より長波長側に中心波長を有することを特徴とする光学的検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/63
, G02B 21/00
, G02F 1/35
