特許
J-GLOBAL ID：200903022879122103
基板回転保持装置および回転式基板処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福島 祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-193703
公開番号（公開出願番号）：特開平11-040655
出願日： 1997年07月18日
公開日（公表日）： 1999年02月12日
要約：
【要約】【課題】 上下振動に対して高い保持力を有する基板回転保持装置およびそれを備えた回転式基板処理装置を提供することである。【解決手段】 回転部材2の上面に回転軸Aと同軸の円周に沿って複数の回転式保持ピン5が取り付けられている。回転式保持ピン5は、円柱状の支持部6およびその支持部6よりも小さな直径を有する逆円錐台形状の保持部7からなる。支持部6は、回転部材2に回動可能に取り付けられ、保持部7は、支持部6の上面に回動軸に対して偏心して設けられる。支持部6の回動に伴って保持部7の外周面が基板100の外周端面に当接することにより、基板100を水平方向に保持する力および基板100を下方に押さえる力が作用する。
請求項（抜粋）：
基板を水平に保持しつつ回転させる基板回転保持装置であって、水平姿勢で回転駆動される回転部材と、前記回転部材上に載置される前記基板の外周部に沿うように配置され、前記基板の外周端面に当接する基板保持位置と前記基板の外周端面から離間する基板開放位置との間で移動可能な複数の保持部材とを備え、前記複数の保持部材の各々は、上方に向かって漸次径大となるテーパ状の保持部を有することを特徴とする基板回転保持装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L 21/68 N
, H01L 21/30 564 C
, H01L 21/30 569 C
