特許

J-GLOBAL ID：200903022882058653

X線発生装置

発明者： 神高 典明 ,  近藤 洋行
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-218295
公開番号（公開出願番号）：特開平10-064694
出願日： 1996年08月20日
公開日（公表日）： 1998年03月06日
要約：

【要約】【課題】 利用するX線の波長を短時間にすばやく切り替えることが可能であり、その結果、X線装置の使用効率を著しく向上させることができるX線発生装置を提供すること。【解決手段】 減圧された真空容器内の標的部材に励起エネルギービームを照射してプラズマを形成し、該プラズマからX線を取り出すX線発生装置において、前記標的部材は、基板103と、該基板上の異なる領域にそれぞれ形成されてなる複数の物質層102、104とを備えており、各物質層は互いに異なる物質の層であり、該複数の物質層及び該基板の露出面のうち所望の物質層または基板露出面に前記励起エネルギ-ビ-ムが照射されるようにしたことを特徴とするX線発生装置。

請求項（抜粋）：

減圧された真空容器内の標的部材に励起エネルギービームを照射してプラズマを形成し、該プラズマからX線を取り出すX線発生装置において、前記標的部材は、基板と、該基板上の異なる領域にそれぞれ形成されてなる複数の物質層とを備えており、各物質層は互いに異なる物質の層であり、該複数の物質層及び該基板の露出面のうち所望の物質層または基板露出面に前記励起エネルギ-ビ-ムが照射されるようにしたことを特徴とするX線発生装置。