特許

J-GLOBAL ID：200903022883717855

積層セラミックスの製造方法

発明者： 水谷 敏昭 ,  深澤 孝幸 ,  五戸 康広 ,  加藤 雅礼
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-305979
公開番号（公開出願番号）：特開平11-139883
出願日： 1997年11月07日
公開日（公表日）： 1999年05月25日
要約：

【要約】【課題】 高温での機械的特性及び耐酸化性に優れ、高温で長時間使用可能な構造部材用材料を提供する。【解決手段】 炭化珪素を含有する第1層上に、第1層に対して化学結合性を有する酸化珪素を含有する第2層を形成し、一般式:RE2 SiO5 (但し、式中のREは、Y,Yb,Er及びDyからなる群より選ばれる希土類元素を示す)で表される希土類珪酸化合物を含有する第3層を第2層に接触させて加熱することによって第1層と第3層とを一体化する。第2層は、第1層を酸化性雰囲気中で1350〜1700°Cに1〜500時間加熱して表面を酸化することにより形成可能である。

請求項（抜粋）：

炭化珪素を含有する第1層上に、該第1層に対して化学結合性を有する酸化珪素を含有する第2層を形成する工程と、一般式:RE2 SiO5 (但し、式中のREは、Y,Yb,Er及びDyからなる群より選ばれる希土類元素を示す)で表される希土類珪酸化合物を含有する第3層を該第2層に接触させて加熱することによって該第1層と該第3層とを一体化する工程とを有することを特徴とする積層セラミックスの製造方法。

IPC (2件)：

C04B 37/00 ,  C04B 41/89

FI (2件)：

C04B 37/00 Z ,  C04B 41/89 K