特許
J-GLOBAL ID：200903022885124991
フィルム剥離・洗浄装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-269360
公開番号（公開出願番号）：特開平6-097267
出願日： 1992年09月11日
公開日（公表日）： 1994年04月08日
要約：
【要約】【目的】 リングフレームからのフィルム剥離、洗浄および乾燥、等の各処理を行う装置の小型化を図るとともに、リングフレーム全体を洗浄することができるようにする。【構成】 カセットCから起立姿勢で取り出したリングフレームRを、起立姿勢に保持してフィルム剥離処理を行った後、フィルムFが剥離されたリングフレームRを受入れ姿勢の洗浄処理用搬送機構28に起立姿勢で供給し、受入れたリングフレームRを斜め上方に搬送しながらリングフレームRに作用する洗浄液供給機構35、ブラシ機構34、および、乾燥機構37を作用させ、洗浄処理および乾燥処理を受けた後のリングフレームRをリングフレーム姿勢復帰機構38によって水平姿勢に戻し、このリングフレームRをリングフレーム搬出機構6で搬出し、水平姿勢で積層状態に収納してゆくように構成する。
請求項（抜粋）：
リングフレームに張付けられているフィルムをリングフレームから剥離し、その後、リングフレームを洗浄するフィルム剥離・洗浄装置であって、複数枚のリングフレームを一定間隔に収納したカセットを、前記リングフレームが起立姿勢となるようにセットし、前記カセットを水平方向にピッチ送りするカセット駆動機構と、前記カセット駆動機構からリングフレームを取り出して、起立姿勢のまま搬送するリングフレーム搬送機構と、前記リングフレーム搬送機構で搬送されてきたリングフレームを起立姿勢に固定保持して、フィルムを強制的にリングフレームから捲りとるフィルム剥離機構と、フィルムが剥離されたリングフレームをリングフレーム搬送機構から起立姿勢で受け入れる受入れ姿勢と、受入れたリングフレームを斜め上方に搬送する搬送姿勢とに姿勢切り換え可能な洗浄処理用搬送機構と、前記洗浄処理用搬送機構で斜め上方に搬送されるリングフレームに作用する洗浄液供給機構、ブラシ機構、および、乾燥機構と、洗浄処理および乾燥処理を受けた後のリングフレームを水平姿勢に戻すリングフレーム姿勢復帰機構と、前記リングフレーム姿勢復帰機構によって水平姿勢に戻されたリングフレームを支持して搬出し、積層状態に収納してゆくリングフレーム搬出機構と、を備えたことを特徴とするフィルム剥離・洗浄装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, H01L 21/304 341
, H01L 21/78
