特許
J-GLOBAL ID：200903022886641558
誘導結合プラズマ3次元四重極質量分析装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
春日 讓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-348715
公開番号（公開出願番号）：特開2000-173532
出願日： 1998年12月08日
公開日（公表日）： 2000年06月23日
要約：
【要約】【課題】スペースチャージが発生したか否かを自動的に判定し発生した場合はスペースチャージの発生を回避して未知試料を測定し高濃度の未知試料まで定量分析できる誘導結合プラズマ3次元四重極質量分析装置を実現する。【解決手段】処理30、31で予め測定した標準試料の半値幅と質量数とを記憶しておき、処理32で測定した未知試料の半値幅及び質量数を、処理33で記憶した標準試料の半値幅及び質量数と比較する。処理33、34で所定の条件に該当することによりスペースチャージの発生を検知する。スペースチャージが発生した場合には、これを回避すべく、処理35で未知試料を希釈して、再度、測定を行い、スペースチャージが発生しない状態の測定結果が得られるまで実行する。その後、処理36で検量線により濃度に変換し、処理37で処理35で行った希釈によるイオン量の補正を行う。
請求項（抜粋）：
未知試料をイオン化し、このイオンをイオン捕捉領域に一定時間導入して、イオン量を計測する誘導結合プラズマ3次元四重極質量分析装置において、予め、標準試料のマススペクトルのピークの半値幅及び質量数を測定し、定量分析のための未知試料を測定し、この未知試料のマススペクトルのピークの半値幅及び質量数と、測定した上記標準試料のマススペクトルのピークの半値幅及び質量数とを、それぞれ比較し、未知試料の半値幅が、標準試料の半値幅より大であり、かつ、未知試料の質量数と標準試料の質量数との差が所定値を超える場合には、スペースチャージが起こった事を判定し、イオン密度を低下させて、スペースチャージの発生を回避して、未知試料を測定することを特徴とする誘導結合プラズマ3次元四重極質量分析装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 49/42
, G01N 27/62 L
5C038JJ02
, 5C038JJ07
, 5C038JJ09
, 5C038JJ11
