特許
J-GLOBAL ID：200903022888532837
光導波路素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井出 直孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-224350
公開番号（公開出願番号）：特開平5-061009
出願日： 1991年09月04日
公開日（公表日）： 1993年03月12日
要約：
【要約】【目的】 強誘電体材料の基板に形成された光導波路に電界を印加する構造の光導波路素子における温度変化に対する動作点変動を抑制する。【構成】 光導波路2と電極4との間に設けられるバッファ層3-1、3-2に弱導電性膜6を挟み込み、電極4、5への印加電圧によって生じる電界には実質的に影響することなく、電極4に発生する静電荷と基板1に発生する電荷とをシールドする。
請求項（抜粋）：
電界印加により屈折率が変化する強誘電体材料の基板に形成された光導波路と、この光導波路に電界を印加する複数の電極と、この複数の電極と前記光導波路とを絶縁するバッファ層とを備えた光導波路素子において、前記バッファ層と前記光導波路との間に、前記複数の電極への電圧印加によって生じる電界には実質的に影響しない程度の導電性しかないが、前記複数の電極に発生する静電荷と前記基板に発生する電荷との相互作用については実質的にシールドできる程度に導電性がある弱導電性膜を備え、この弱導電性膜が前記複数の電極の少なくとも一つに電気的に接続されたことを特徴とする光導波路素子。
引用特許：
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