特許
J-GLOBAL ID：200903022890699285
半導体試験装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-113624
公開番号（公開出願番号）：特開平5-312924
出願日： 1992年05月06日
公開日（公表日）： 1993年11月26日
要約：
【要約】【目的】 同時測定の場合も通常測定の場合と比較して測定コストが格別に増大することのない半導体試験装置を提供する。【構成】 ICテスタ本体T内には信号発生/信号受信測定ユニットである2個のチャネルch1およびch2の一方のチャネルch1の切り替えスイッチ7はこのチャネルch1を一方のステーション1におけるボード3の一方のチャネルch1対応ポートに接続すると共に他方のステーション2におけるボード4の他方のチャネルch2対応ポートに接続するものであり、他方のチャネルch2の切り替えスイッチ8はこのチャネルch2を一方のステーション1におけるボード3の他方のチャネルch2対応ポートに接続すると共に他方のステーション2におけるボード4の一方のチャネルch1対応ポートに接続する半導体試験装置
請求項（抜粋）：
2台のテスト・ステーションが接続せしめられたICテスタ本体を具備し、ICテスタ本体およびテスト・ステーションを制御する中央制御装置を具備し、2台のテスト・ステーションはそれぞれパフォーマンス・ボードを具備し、ICテスタ本体内には信号発生/信号受信測定ユニットである2個のチャネルを具備し、2個のチャネルそれぞれを2台のテスト・ステーションに切り替え接続する切り替えスイッチを具備し、一方のチャネルの切り替えスイッチはこのチャネルを一方のテスト・ステーションにおけるパフォーマンス・ボードの一方のチャネル対応ポートに接続すると共に他方のテスト・ステーションにおけるパフォーマンス・ボードの他方のチャネル対応ポートに接続するものであり、他方のチャネルの切り替えスイッチはこのチャネルを一方のテスト・ステーションにおけるパフォーマンス・ボードの他方のチャネル対応ポートに接続すると共に他方のテスト・ステーションにおけるパフォーマンス・ボードの一方のチャネル対応ポートに接続するものであることを特徴とする半導体試験装置。
FI (2件)：
G01R 31/28 Y
, G01R 31/28 H
