特許
J-GLOBAL ID:200903022891191110

角速度検出器

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小野 由己男 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-299244
公開番号(公開出願番号):特開平7-151780
出願日: 1993年11月30日
公開日(公表日): 1995年06月16日
要約:
【要約】【目的】 高い角速度検出感度を得て、検出精度を高める。【構成】 角速度検出器は、弾性表面波励振用の励振電極2,3と、励振電極2,3の側方に設けられかつ表面弾性波に共振する反射波を発生するグレーティング反射器4,5と、励振電極2,3とグレーティング反射器4,5との間に配置された検出電極6,7,8,9とを備えている。検出電極6,7,8,9は、弾性表面波により生じるコリオリの力を検出可能な位置に2列に断続して配列されている。
請求項(抜粋):
弾性表面波励振用の励振部と、前記励振部の側方に設けられ、前記弾性表面波に共振して反射波を発生する反射部と、前記励振部と前記反射部との間において、前記弾性表面波により生じるコリオリ力を検出可能な位置に2列に断続して配置された検出電極と、を有してなる角速度検出器。

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