カーボンナノチューブの合成装置及び方法

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：志賀正武 , 渡邊隆 , 村山靖彦 , 実広信哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-337338
公開番号（公開出願番号）：特開2007-161579
出願日： 2006年12月14日
公開日（公表日）： 2007年06月28日
要約：

【課題】カーボンナノチューブの合成装置及び方法を提供すること。【解決手段】カーボンナノチューブの合成装置は、カーボンナノチューブの生成空間を提供する反応炉と、前記反応炉を加熱する加熱部と、工程時に前記反応炉の生成空間に位置し、合成基板が置かれるボートと、前記反応炉の生成空間にソースガスを供給するノズルユニットとを有するガス供給部を備え、前記ノズルユニットは、互いに異なる高さからソースガスを供給する噴射部を備える。本発明に係るカーボンナノチューブの合成装置及び方法は、カーボンナノチューブ合成時に用いられるソースガスの均一な供給、ソースガスの効率的な排気、カーボンナノチューブの回収率の増加を図って、大量のカーボンナノチューブを効果的に合成させる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

カーボンナノチューブの生成空間を提供する反応炉と、前記反応炉を加熱する加熱部と、工程時に前記反応炉の生成空間に位置し、合成基板が置かれるボートと、前記反応炉の生成空間にソースガスを供給するノズルユニットを有するガス供給部とを備え、前記ノズルユニットは、互いに異なる高さからソースガスを供給する噴射部を備えることを特徴とするカーボンナノチューブの合成装置。

IPC (1件)：

C01B 31/02

FI (1件)：

C01B31/02 101F

Fターム (12件)：

4G146AA11 , 4G146BA08 , 4G146BA12 , 4G146BA48 , 4G146BB22 , 4G146BB23 , 4G146BC42 , 4G146DA03 , 4G146DA23 , 4G146DA40 , 4G146DA46 , 4G146DA47

引用特許：

審査官引用 (2件)

カーボンファイバの製造方法、基板カートリッジおよび熱CVD装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-278885 出願人：ソナック株式会社
カーボンナノファイバの製造方法およびその方法を実施するためのカーボンナノファイバ製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-278881 出願人：ソナック株式会社

前のページに戻る