特許

J-GLOBAL ID：200903022911582650

スクリーン版のパターニング方法およびパターニング装置

発明者： 笠貫 有二
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-047171
公開番号（公開出願番号）：特開2000-251700
出願日： 1999年02月24日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：

【要約】【課題】 スクリーン版の位置精度を向上させ、高精度で且つ大面積に対応できるスクリーン版のパターニング方法及びパターニング装置を提供する。【解決手段】 スクリーン版3をガラスマスク2に面接触させる接触ローラ5a、5bと、スクリーン版3に張力を付与する巻き出しローラ6a、巻き取りローラ6bと、スクリーン版3を支持する支持ローラ7a、7bと、巻き出しローラ6a、巻き取りローラ6bに設けられた回転機構により張力が付与されると共に搬送されるスクリーン版3にパターンを露光する露光機1と、露光機1により露光されたスクリーン版3に現像を行う現像槽8とを備える。

請求項（抜粋）：

スクリーン版のパターニングにおいて、前記スクリーン版の対向する2辺をそれぞれロールに巻き付けるロール・ツー・ロール構成によって前記スクリーン版に張力を与えた状態で少なくも一種類以上のパターンをパターニングすることを特徴とするスクリーン版のパターニング方法。

IPC (2件)：

H01J 9/227 ,  H01J 11/00

FI (2件)：

H01J 9/227 E ,  H01J 11/00 A

Fターム (11件)：

5C028FF16 ,  5C028HH14 ,  5C040FA01 ,  5C040FA02 ,  5C040GG09 ,  5C040JA12 ,  5C040JA32 ,  5C040MA22 ,  5C040MA23 ,  5C040MA24 ,  5C040MA25