特許
J-GLOBAL ID:200903022915615740
角速度センサ
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
蔵合 正博
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-051911
公開番号(公開出願番号):特開2000-249553
出願日: 1999年02月26日
公開日(公表日): 2000年09月14日
要約:
【要約】【課題】 比較的安価で高感度・高検出精度が得られる角速度センサを提供することを目的とする【解決手段】 圧電素子11,12を貼り合わせバイモルフを構成し、貼り合わせ接合面Aに直交するB面を底面とする正三角柱を切り出し形成し、正三角柱を圧電素子と一体もしくは別材の台15上に固定し、接合面A及び正三角柱の各面B,C1,C2に独立した電気的電極Ad,Bd,C1d,C2dを構成し、正三角柱の各面の電極Bd,C1d,C2dと接合面の電極Adとの間に分極を施し、各部電極への交流電圧印加により、接合面A方向に駆動し励振状態とし、この励振方向と直交方向のバイモルフの各々の電極C1d,C2dでの起電力の出力差を、抵抗を介して取り出すことによりコリオリ力による出力を取り出す。
請求項(抜粋):
圧電素子を2枚貼り合わせてバイモルフを構成し、前記貼り合わせた接合面に直交する面を底面とし、これに隣接する2辺を斜面とする正三角柱を切り出し、前記正三角柱を圧電素子と一体もしくは別材の台上に固定し、かつ、前記接合面および正三角柱の各面に各々独立した電極を形成し、前記正三角柱の各面の電極と接合面の電極との間に分極を施し、これら電極間に交流電圧を印加することにより正三角柱を接合面の方向に駆動し励振状態とし、この励振方向と直交する2つの斜面電極間の出力差を抵抗を介して取り出すことにより、コリオリ力による出力を取り出し可能としたことを特徴とする角速度センサ。
IPC (2件):
FI (2件):
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