特許
J-GLOBAL ID：200903022917144094
蛍光X線分析装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
杉本 修司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-164602
公開番号（公開出願番号）：特開平8-005584
出願日： 1994年06月22日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：
【要約】【目的】 試料から発生する2次X線を分析のために有効に活用できる蛍光X線分析装置を提供する。【構成】 試料4の照射面8に対して斜め方向に1次X線9を照射するX線源1と、試料4から発生する2次X線を検出する検出器5とを備え、前記検出器5は、試料4の照射面8における1次X線9の入射方向に沿った照射長手軸10と平行な直線上に配列された複数の検出素子6を有してなる蛍光X線分析装置。
請求項（抜粋）：
試料の照射面に対して斜め方向に1次X線を照射するX線源と、試料から発生する2次X線を検出する検出器とを備え、前記検出器は、試料の照射面における1次X線の入射方向に沿った照射長手軸と平行な直線上に配列された複数の検出素子を有してなる蛍光X線分析装置。
引用特許：
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