誘電体バリア放電ランプを使った処理装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-240002
公開番号（公開出願番号）：特開2001-129391
出願日： 1994年04月15日
公開日（公表日）： 2001年05月15日
要約：

【要約】【課題】中心波長が172nm付近の真空紫外光の照度が大きく、照度分布がよく、照射面積の大きい平面照射装置を使った誘電体バリア放電ランプを使った物体の処理装置を提供することである。【解決手段】放電容器(1)に誘電体バリア放電によってエキシマを形成する放電用ガスを充した誘電体バリア放電ランプ(31)を、少なくとも一部が紫外エキシマ光を取り出す窓部材(34)でおおった匡体(32)内に、ヘリウム、ネオン、クリプトン、アルゴン、キセノン、水素、窒素から選択された少なくとも一種のガスとともに配置してなるキセノン照射装置と、このキセノン照射装置の前方に配置した処理台(43)と、この処理台(43)を前記装置の窓部材(34)に近接せしめる駆動手段(42)とを含むことを特徴とする誘電体バリア放電ランプを使った処理装置。含む物体の処理装置を構成する。

請求項（抜粋）：

放電容器に誘電体バリア放電によってエキシマを形成する放電用ガスを充した誘電体バリア放電ランプを、少なくとも一部が紫外エキシマ光を取り出す窓部材でおおった匡体内に、ヘリウム、ネオン、クリプトン、アルゴン、キセノン、水素、窒素から選択された少なくとも一種のガスとともに配置してなるキセノン照射装置と、このキセノン照射装置の前方に配置した処理台と、この処理台を前記装置の窓部材に近接せしめる駆動手段とを含むことを特徴とする誘電体バリア放電ランプを使った処理装置。

IPC (6件)：

B01J 19/12 , C08J 7/00 304 , H01J 65/00 , H01L 21/205 , H01L 21/027 , H01L 21/304 645

FI (7件)：

B01J 19/12 F , B01J 19/12 G , C08J 7/00 304 , H01J 65/00 A , H01L 21/205 , H01L 21/304 645 D , H01L 21/30 572 A

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平2-007353
特開平4-264349
特開平4-206723

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審査官引用 (5件)

特開平2-007353
特開平4-264349
特開平4-206723

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