特許

J-GLOBAL ID：200903022930448876

ガラスセラミツク構造体焼成方法

発明者： シヤジ・フアルーク ,  ゴビンダラジヤン・ナタラジヤン ,  スリニバサ・エス・エヌ・レツデイ ,  リチヤード・アラン・シエルマン ,  ナンシー・セシリア・ストツフエル ,  ラオ・ベンカテスワラ・バラブハネニ
出願人/特許権者： インターナシヨナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイシヨン
代理人 (1件)： 頓宮 孝一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-024810
公開番号（公開出願番号）：特開平5-139810
出願日： 1992年01月14日
公開日（公表日）： 1993年06月08日
要約：

【要約】【目的】シールされたバイアを有する硝子セラミツク構造体を製造し得る焼成サイクルを提供する。【構成】熱分解可能結合剤の中に第1の可結晶化ガラスを含む少なくとも1つの未焼結シートを形成する。導電性金属、可結晶化ガラス及び熱分解可能結合剤を含む導電性ペーストのバイアを含むパターンにより未焼結シートを金属処理する。未焼結シートを以下の焼成サイクルにより焼成する。中性又は還元性雰囲気を有する炉内において未焼結シートを第1温度に予熱して熱分解可能結合剤の熱分解を生じさせる。炉内に水蒸気雰囲気を導入して炉内において当該未焼結シートを第1の温度に予熱して熱分解された結合剤を焼き尽くす。当該水蒸気雰囲気を中性又は還元性雰囲気に置き換えると共に温度を第2の温度に徐々に上昇させて緻密化及び結晶化を生じさせる。予め定められた時間の間第2の温度を保持して少なくとも1つのバイアのシーリングを生じさせる。ガラスセラミツク構造体を冷却する。

請求項（抜粋）：

熱分解可能結合剤の中に第1の可結晶化ガラスを含む少なくとも1つの未焼結シートを形成するステツプと、導電性金属、第2の可結晶化ガラス及び熱分解可能結合剤を含む導電性ペーストの少なくとも1つのバイアを含むパターンにより上記未焼結シートを金属処理するステツプと、上記未焼結シートを焼成するステツプとを具え、上記未焼結シート焼成サイクルステツプは、(A)中性又は還元性雰囲気を有する炉内において上記未焼結シートを第1の温度に予熱することにより上記熱分解可能結合剤の熱分解を生じさせるステツプを具え、上記第1の温度は、上記第1の可結晶化ガラス又は上記導電性ペーストを一体化させるには不十分な温度であり、(B)上記炉内に水蒸気雰囲気を導入して上記炉内において上記未焼結シートを上記第1の温度に加熱することにより上記熱分解結合剤を焼き尽くすステツプと、(C)上記水蒸気雰囲気を中性又は還元性雰囲気に置き換え、温度を第2の温度に徐々に上昇させることにより上記第1のガラス及び上記第2のガラスの緻密化及び結晶化を生じさせるステツプと、(D)予め定められた時間だけ上記第2の温度を維持することにより上記少なくとも1つのバイアのシーリングを生じさせるステツプを具え、上記予め定められた時間の第1の部分においては上記炉内の雰囲気を中性又は還元性雰囲気に保持し、上記予め定められた時間の第2の部分においては上記中性又は還元性雰囲気を水蒸気雰囲気に置き換えるステツプと、(E)上記構造物を冷却するステツプとを具えることを特徴とするガラスセラミツク構造体焼成方法。

IPC (7件)：

C04B 35/00 ,  C03B 32/02 ,  C03C 3/064 ,  C03C 10/00 ,  C03C 17/10 ,  C04B 35/64 ,  H05K 3/46