フェノール系デンドリマー化合物およびそれを含む感放射線性組成物

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩見谷周志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-136066
公開番号（公開出願番号）：特開平10-310545
出願日： 1997年05月09日
公開日（公表日）： 1998年11月24日
要約：

【要約】【課題】感度および解像度に優れた感放射線性組成物の創製に有用な新規なデンドリマー化合物および該化合物を利用する感放射線性組成物を提供する。【解決手段】一般式(1)で表されるフェノール系デンドリマー化合物。【化1】[式中、R1〜R8は、水素原子、水酸基、ハロゲン原子、アルキル基、アリール基、アラルキル基、アルコキシ基、アルケニル基、アルケニルオキシ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アルキロイルオキシ基、アリーロイルオキシ基、シアノ基またはニトロ基を表し、これらの基は置換基を有していてもよく、但しR3〜R8の少なくとも1つは水酸基であり;Xは単結合または式:【化2】(ここで、R9およびR10は同一または異なり、水素原子、アルキル基またはアリール基である。)で表される2価の基であり、nは3〜8の整数である。]該デンドリマー化合物を含有する感放射線性組成物は、感度および解像度が著しく優れ、ホトレジストとして有用である。

請求項（抜粋）：

下記一般式(1)で表されるフェノール系デンドリマー化合物。【化1】[式中、R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7およびR8は同一または異なり、水素原子、水酸基、ハロゲン原子、アルキル基、アリール基、アラルキル基、アルコキシ基、アルケニル基、アルケニルオキシ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アルキロイルオキシ基、アリーロイルオキシ基、シアノ基またはニトロ基を表し、これらの基は置換基を有していてもよく、但しR3〜R8の少なくとも1つは水酸基であり;Xは単結合または式:【化2】(ここで、R9およびR10は同一または異なり、水素原子、アルキル基またはアリール基である。)で表される2価の基であり、nは3〜8の整数である。]

IPC (4件)：

C07C 43/23 , G03F 7/022 , G03F 7/038 601 , H01L 21/027

FI (4件)：

C07C 43/23 D , G03F 7/022 , G03F 7/038 601 , H01L 21/30 502 R

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