特許
J-GLOBAL ID：200903022931484035
焦点深度切り換え可能な電子顕微鏡等の電子光学観察装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
韮澤 弘 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-115740
公開番号（公開出願番号）：特開平5-094798
出願日： 1991年05月21日
公開日（公表日）： 1993年04月16日
要約：
【要約】【目的】 モード切り換えによって焦点深度を変更することができる電子顕微鏡等において、モード切り換えの際に広い試料位置範囲で一定の像回転補正で何れのモードでも像回転が殆どなしに観察可能にする。【構成】 高分解能を得る従来モードにおける第2集束レンズ2の結像位置Yから対物レンズ3までの距離b、及び、焦点深度の深いモードにおける対物レンズ3から第2集束レンズ2の結像位置Qまでの距離aを、対物レンズ3から最も離れた試料位置S2 までの距離w2 に比較して十分大きく設定して、何れの試料位置においてもモード変換に伴う像回転をほぼ同じ角度にし、試料位置を変えたときのモード変換に伴う像回転補正を広い範囲の作動距離について同じ角度にしても、その変換による像回転を極めて小さくする。
請求項（抜粋）：
電子ビームの進行方向に、少なくとも、電子銃、第1集束レンズ、第2集束レンズ、対物絞り、走査コイル、対物レンズが順に配置されてなり、第1集束レンズ、第2集束レンズ、対物レンズの励磁を変更することにより、同一試料位置に対してフォーカスを変更することなく、第2集束レンズによる電子銃の結像位置を対物レンズの電子銃側及び試料側に変更して焦点深度が変わる第1モード及び第2モードに変換可能な電子顕微鏡等の電子光学観察装置において、第1モードにおける第2集束レンズによる電子銃の結像位置から対物レンズ主面位置までの距離、及び、第2モードにおける対物レンズ主面位置から第2集束レンズによる電子銃の結像位置までの距離を、対物レンズ主面位置から最も離れた試料位置までの距離に比較して十分大きく設定することにより、試料位置を変えたときのモード変換に伴う像回転補正を同じ角度にしてもその変換による像回転を著しく小さくしたことを特徴とする焦点深度切り換え可能な電子顕微鏡等の電子光学観察装置。
IPC (2件)：
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