特許

J-GLOBAL ID：200903022932224398

橋かけポリマー

発明者： ハンス-トーマス・シヤハト ,  ノルベルト・ムエンツエル ,  カール-ローレンツ・メルテスドルフ ,  パスクアーレ・アルフレド・フアルチーニヨ ,  ハインツ・ホルツヴアルト ,  オツトマル・ローデ ,  ハンス-ヨルク・キルナー
出願人/特許権者： オー・シー・ジー・マイクロエレクトロニツク・マテリアルズ・インコーポレイテツド
代理人 (1件)： 高木 千嘉 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-330237
公開番号（公開出願番号）：特開平8-253534
出願日： 1995年12月19日
公開日（公表日）： 1996年10月01日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 フォトレジストのためのバインダー樹脂として用いられる部分橋かけポリマーの提供。【解決手段】 式I及びII:(R1及びR2は、H、メチル又はハロゲンであり、R3及びR4は、C1〜C6アルキル、C1〜C6アルコキシ又はハロゲンである)の構造繰り返し単位よりなり、この式I及びIIの構造単位中ヒドロキシル基の5〜90%は、式III:(R5はC1〜C6アルキル、R6はH、C1〜C6アルキル、R7はC1〜C18アルキル、C5〜C10シクロアルキル、C5〜C14アリール又はC6〜C30アラルキル)の保護基によって置換され、ポリマー鎖は式IV、V又はVI:の構造単位よりなる5000〜1000 000のMwを有するポリマーは、高い処理安定性、高いコントラスト及び良好な解像のDUVフォトレジストのためのバインダーとして適している。

請求項（抜粋）：

式I及びII:【化1】(式中R1及びR2は、互いに独立して水素、メチル又はハロゲンであり、R3及びR4は、互いに独立して水素、C1〜C6アルキル、C1〜C6アルコキシ又はハロゲンである)の構造繰り返し単位よりなり、この式I及びIIの構造単位中ヒドロキシル基の5〜90%は、式III:【化2】(R5はC1〜C6アルキルであり、R6は水素又はC1〜C6アルキルであり、R7はC1〜C18アルキル、C5〜C10シクロアルキル、C5〜C14アリール又はC6〜C30アラルキルである)の保護基によって置換され、アルキル、シクロアルキル、アリール又はアラルキル基は、置換されていないか又は1つもしくはそれ以上のヒドロキシル基、ニトロ基又はハロゲン原子によって置換されていることが可能であり、ポリマー鎖は式IV、V又はVI:【化3】(式中R1〜R6は上に定義された通りである)の構造単位よりなる5000〜1000 000の平均分子量Mw(重量平均)(ゲル浸透クロマトグラフィーを用いて測定)を有するポリマー。

IPC (10件)：

C08F212/14 MJY ,  C08F210/00 MJS ,  C08F216/18 MKY ,  G03F 7/00 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/00 ,  H05K 3/06

FI (10件)：

C08F212/14 MJY ,  C08F210/00 MJS ,  C08F216/18 MKY ,  G03F 7/00 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/039 501 ,  H05K 3/00 F ,  H05K 3/06 H ,  H01L 21/30 502 R