特許
J-GLOBAL ID：200903022953749164
裏面洗浄装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
下田 容一郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-255365
公開番号（公開出願番号）：特開平6-084779
出願日： 1992年09月01日
公開日（公表日）： 1994年03月25日
要約：
【要約】【目的】 ガラス基板の裏面を洗浄する際に、基板が破損したりせず、しかも基板表面に洗浄液が廻り込まないようにする。【構成】 蓋体15は被処理物Wを出し入れする際および被処理物Wを回転して裏面を洗浄している間いずれもカップ11に取り付けられている。そして、蓋体15には被処理物Wを出し入れするための開口部16が形成されている。この開口部16は直径が被処理物Wの対角線の長さより若干大きい円形をしている。
請求項（抜粋）：
ガラス基板等の矩形状被処理物の裏面に廻り込んだ塗布液を洗浄する装置において、この洗浄装置はカップ内に被処理物を吸着して回転せしめるスピンナーチャックを配置するとともにカップに蓋体を設け、この蓋体には被処理物を出し入れするための開口部が形成され、この開口部は直径が被処理物の対角線の長さよりも大きい円形であることを特徴とする裏面洗浄装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, H01L 21/304 341
