特許
J-GLOBAL ID：200903022959606764
圧力型マスフローコントローラシステム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (12件)：
岡部 正夫
, 加藤 伸晃
, 産形 和央
, 臼井 伸一
, 藤野 育男
, 越智 隆夫
, 本宮 照久
, 高梨 憲通
, 朝日 伸光
, 高橋 誠一郎
, 吉澤 弘司
, 松井 孝夫
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-553600
公開番号（公開出願番号）：特表2004-517396
出願日： 2001年08月06日
公開日（公表日）： 2004年06月10日
要約：
たとえば半導体製造産業においてプロセスガスを処理室に精密に送出するのに使用することができる圧力型マスフローコントローラ(10)である。このコントローラは、低圧力源とともに使用され得り、複数のかかるコントローラおよび複数のガス源を含むシステムに、容易に、かつ安価に組み込むことを可能にする単純化された新規な設計を有する。このコントローラは、流体源への接続のための流路(12)と、該流路を上流リザーバ(16)と下流リザーバ(18)とに分ける流量制限器(14)と、上流リザーバに接続される上流圧力測定装置(20)と、流路に接続される流量弁(22)とを備える。コントローラはまた、所望の流量、上流圧力測定装置からの上流圧力の表示、下流リザーバ(18)に接続される遠隔した下流圧力測定装置からの下流圧力の表示を受け取るようにプログラムされた制御装置(24)を有する。したがって、制御装置(24)は、上流圧力の線形関数に従って、閉塞流状態の間に実際の質量流量を求め、上流圧力と下流圧力の非線形関数に従って、非閉塞流状態の間に実際の質量流量を求める。制御装置(24)はまた、実際の流量が所望の流量よりも少ない場合、流量弁に流れを増加させるよう指示し、実際の流量が所望の流量よりも多い場合、流量弁に流れを減少させるよう指示するようにプログラムされる。
請求項（抜粋）：
流体源からの流体の流量を制御するためのマスフローコントローラであって、
A) 前記流体源への接続のための流路と、
B) 前記流路を上流リザーバと下流リザーバとに分ける流量制限器(flow restrictor:流量絞り弁)と、
C) 前記上流リザーバに接続された上流圧力測定装置と、
D) 前記上流リザーバの前の前記流路に接続された流量弁と、
E) 制御装置(control device)であって、
i) ユーザ入力装置から所望の流量を受け取りかつ格納し、
ii) 前記上流圧力測定装置から上流圧力の表示(indication)を受け取り、
iii) 前記下流リザーバに接続された遠隔の下流圧力測定装置から下流圧力の表示を受け取り、
iv) 前記上流圧力が前記下流圧力の約2倍に少なくとも等しい場合、前記上流圧力の線形関数に従って、前記流路を通る流体の実際の質量流量を求め、
v) 前記上流圧力が前記下流圧力の約2倍よりも低い場合、前記上流圧力および前記下流圧力の非線形関数に従って、前記流路を通る前記流体の実際の質量流量を求め、
vi) 前記実際の流量が前記所望の流量よりも少ない場合、前記流量弁に流れを増加させるように指示し、
vii) 前記実際の流量が前記所望の流量よりも多い場合、前記流量弁に流れを減少させるように指示する
ようにプログラムされた制御装置と
を備える、マスフローコントローラ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (6件)：
5H307AA20
, 5H307BB01
, 5H307CC07
, 5H307EE02
, 5H307GG15
, 5H307HH12
