特許
J-GLOBAL ID：200903022972451664
ウエハボックス
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松本 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-200860
公開番号（公開出願番号）：特開平8-064669
出願日： 1994年08月25日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：
【要約】【目的】外部の振動等の外力からウエハを安定した状態にて収納し、発塵を防止したウエハボックスを提供する。【構成】突起4を有する蓋部1と、底部と内側面部にそれぞれ突起5、6を有する格納部2とからなり、前記蓋部1を前記格納部2に接合し、前記蓋部の突起4と前部底部の突起5により半導体ウエハ3の上下端を固定するウエハボックスにおいて、前記内側面部の突起6に、前記半導体ウエハの左右端を固定するスプリング部材7を設けたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
突起を有する蓋部と、底部と内側面部にそれぞれ突起を有する格納部とからなり、前記蓋部を前記格納部に接合し、前記蓋部の突起と前部底部の突起により半導体ウエハの上下端を固定し、格納するウエハボックスにおいて、前記内側面部の突起に、前記半導体ウエハの左右端を固定するスプリング部材を設けたことを特徴とするウエハボックス。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65D 85/86
, B65G 1/00 537
