特許
J-GLOBAL ID:200903022973583823
マイクロレンズアレイおよびその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-039638
公開番号(公開出願番号):特開平9-230112
出願日: 1996年02月27日
公開日(公表日): 1997年09月05日
要約:
【要約】【課題】簡素な工程で得られる精巧なガラス製マイクロレンズ、およびその製造方法を提供する。【解決手段】熱軟化温度が平板基板の熱軟化温度より低いマイクロレンズとする。また感光性ガラスペーストの膜を平板基板上に形成し、求めるマイクロレンズ配列パターンに対応した照度分布を以てガラスペースト膜を露光、現像し該ガラス粉末の熱軟化温度よりも高くかつ該平板基板の熱軟化温度よりも低い温度で熱処理するマイクロレンズアレイの製造方法とする。
請求項(抜粋):
上面が凸曲面で底面が平面である平凸単位レンズを、平板基板上に複数配列したマイクロレンズアレイであって、該単位レンズ群はガラスを主成分とし、さらに該単位レンズ群の熱軟化温度が該平板基板の熱軟化温度より低いことを特徴とするマイクロレンズアレイ。
IPC (3件):
G02B 3/00
, C03C 17/02
, B29D 11/00
FI (3件):
G02B 3/00 A
, C03C 17/02 Z
, B29D 11/00
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