多波長分光光度計及びフォトダイオードアレイ型光検出器

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高田幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-128765
公開番号（公開出願番号）：特開2000-321202
出願日： 1999年05月10日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
要約：

【要約】【課題】周囲温度変化の影響を受け難い多波長分光光度計及びフォトダイオードアレイ型光検出装置を提供すること。【解決手段】サンプル光はサンプルセル3、サンプル光用スリット4aを通り、またリファレンス光はリファレンス光用スリット4bを通り、多波長分光器に入射する。サンプル光とリファレンス光は分光素子6で分光され、フォトダイオードアレイ型光検出器7に入射する。この検出器は単一の半導体基板10とその表面に形成されたサンプル光用フォトダイオードアレイ7a及びリファレンス光用フォトダイオードアレイ7bとを含み、サンプル光のスペクトル及びリファレンス光のスペクトルはサンプル光用フォトダイオードアレイ7a及びリファレンス光用フォトダイオードアレイ7bによってそれぞれ検出され、信号処理回路9により、同一時刻におけるサンプル光信号及びリファレンス光信号から波長毎に吸光度が求められる。

請求項（抜粋）：

同一光源から得られるサンプル光及びリファレンス光を分光素子で分光し、その分光したサンプル光及びリファレンス光をフォトダイオードアレイ型光検出器により検出する多波長分光光度計において、前記フォトダイオードアレイ型光検出器は単一の半導体基板と、該単一の半導体基板上に列を異にして形成されたサンプル光用フォトダイオードアレイ及びリファレンス光用フォトダイオードアレイとを含むことを特徴とする多波長分光光度計。

IPC (2件)：

G01N 21/27 , G01J 3/02

FI (2件)：

G01N 21/27 Z , G01J 3/02 S

Fターム (7件)：

2G020AA01 , 2G059AA01 , 2G059EE01 , 2G059EE11 , 2G059FF08 , 2G059KK03 , 2G059KK04

引用特許：

審査官引用 (15件)

紫外線吸収検出器
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-345566 出願人：横河電機株式会社
特開平1-250737
特開昭63-198832

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