特許

J-GLOBAL ID：200903022981285815

圧電振動片及びその製造方法

発明者： 白石 茂
出願人/特許権者： エプソントヨコム株式会社
代理人 (4件)： 上柳 雅誉 ,  梅田 明彦 ,  藤綱 英吉 ,  須澤 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-144584
公開番号（公開出願番号）：特開2007-318350
出願日： 2006年05月24日
公開日（公表日）： 2007年12月06日
要約：

【課題】圧電基板表面又は裏面の励振電極を反対側に引き出す構造の厚みすべり振動モードの圧電振動片をより少ない工数で製造し、生産性の向上、製造コストの低減を図る。【解決手段】 ATカット水晶振動片1は、表裏両面に励振電極7a、7bを有する薄肉の励振部2と、その外側に同じ薄肉の支持部5,6により貫通溝4を挟んで一体に結合した厚肉の補強枠部3とを備える。補強枠部の長手方向一端に1対の接続電極8,9が形成され、それぞれ補強枠部及び支持部の表面又は裏面に形成した引出電極10a,11aを介して対応する励振電極と接続されている。各支持部には、内面を電極膜で被覆した貫通孔12,13が設けられ、支持部表裏両面の引出電極を互いに接続している。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

薄肉の励振部、その周囲に貫通溝を挟んで配置した厚肉の補強枠部、前記貫通溝において前記励振部と同一平面に形成されて前記励振部と前記補強枠部とを一体に結合する支持部からなる圧電素子片と、前記励振部の表裏各面に設けられた1対の励振電極と、前記補強枠部に設けられた1対の接続電極と、前記各励振電極を対応する前記接続電極と接続するために前記補強枠部及び前記支持部に設けられた引出電極と、前記支持部に形成された貫通孔及び該貫通孔の内面に形成された電極膜とを有し、前記貫通孔の電極膜を介して前記表面または裏面の前記励振電極を反対側の面の対応する前記引出電極に接続したことを特徴とする圧電振動片。

IPC (5件)：

H03H 9/19 ,  H03H 3/02 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22

FI (5件)：

H03H9/19 D ,  H03H3/02 C ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/22 Z

Fターム (16件)：

5J108BB02 ,  5J108CC04 ,  5J108CC08 ,  5J108CC10 ,  5J108CC11 ,  5J108DD02 ,  5J108EE03 ,  5J108EE07 ,  5J108EE13 ,  5J108FF07 ,  5J108KK01 ,  5J108KK02 ,  5J108KK03 ,  5J108MM08 ,  5J108MM11 ,  5J108MM14

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開昭61-189715号公報
  
• 振動子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-187166   出願人：松下電器産業株式会社
• 水晶振動子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-259204   出願人：キンセキ株式会社
• 水晶振動子とその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-051024   出願人：京セラキンセキ株式会社