特許

J-GLOBAL ID：200903022986730329

製品の製造方法及び工程管理プログラム

発明者： 久保 智彰
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 日向寺 雅彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-052152
公開番号（公開出願番号）：特開2008-217280
出願日： 2007年03月02日
公開日（公表日）： 2008年09月18日
要約：

【課題】異常データを適切に除去して工程管理を行うことができる製品の製造方法及び工程管理プログラムを提供する。【解決手段】製品の製造工程において取得されたN個の数値データの集合について、この集合に属する数値データを、この集合の平均値から離隔している順に整列させ(ステップS11)、この集合から、平均値から離隔している順にk個(kは1乃至nの整数、nは3以上N未満の整数)の数値データを仮除去した残部の標準偏差σkを全てのkの値について求め、標準偏差σkと標準偏差σk-1との比率rkを求め、比率rkと比率rk+1との差の絶対値dkを求め、差の絶対値dkが最大になるようなkの値k0を求めて、この値k0を異常データの数とし(ステップS12)、この集合から平均値から離隔している順にk0個の数値データを除去する(ステップS13)。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

製品の製造設備の情報収集手段から取得されたデータを数値データに変換し、これを監視して工程管理を行う製品の製造方法であって、 N個の前記数値データの集合から、前記集合の平均値から離隔している順にk個(kは1乃至nの整数、nは3以上N未満の整数)の数値データを仮除去した残部の標準偏差σkを全てのkの値について求め、 標準偏差σkと標準偏差σk-1との比率rkを求め、 前記比率rkと比率rk+1との差の絶対値dkを求め、 前記差の絶対値dkが最大になるような前記kの値k0を求める工程と、 前記集合から前記平均値から離隔している順にk0個の前記数値データを除去する工程と、 前記k0個の数値データが除去された集合に基づいて前記製造工程を管理する工程と、 を備えたことを特徴とする製品の製造方法。

IPC (2件)：

G05B 19/418 ,  H01L 21/02

FI (2件)：

G05B19/418 Z ,  H01L21/02 Z

Fターム (4件)：

3C100AA66 ,  3C100BB13 ,  3C100BB27 ,  3C100EE06

引用特許：

出願人引用 (1件)

• データ管理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-026142   出願人：株式会社ルネサステクノロジ