特許
J-GLOBAL ID：200903022991441424
蒸着装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
笹島 富二雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-260386
公開番号（公開出願番号）：特開平6-111295
出願日： 1992年09月29日
公開日（公表日）： 1994年04月22日
要約：
【要約】【目的】磁性金属16の蒸発方向を規制し、かつ粒子の配列を整えてフィルム1の表面に磁性金属16を蒸着する。【構成】ルツボ17とフィルム1に近接した遮蔽機構19との間に遮蔽筒31を備える。また遮蔽筒31の側面に、電子ビーム銃18からルツボ17に入れた磁性金属16に電子線18aを照射出来るように孔31aを設け、さらに遮蔽筒31の外周に冷却水管32を設ける。この冷却水管32に冷却水を流して遮蔽筒31を冷却し、内壁面方向に蒸発した磁性金属16の蒸気を瞬時に冷却して内面に付着させる。
請求項（抜粋）：
蒸着材の蒸着源と、該蒸着源の上方にて被蒸着材を案内するキャンと、を備えた蒸着装置において、前記蒸着源とキャンとの間に、蒸発方向に沿って筒状に延びる遮蔽筒と、該遮蔽筒を冷却する冷却手段と、を備えたことを特徴とする蒸着装置。
IPC (4件)：
G11B 5/84
, C23C 14/24
, C23C 14/30
, H01F 41/20
